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洁净室空间布置和综合协调
洁净室的空间布置，主要应做到：满足产品生产工艺要求，合理布置产品生产工艺设备，特别是高、大设备的安排，合理布置物料运输系统，使电子产品生产做到有效、灵活和操作方便。与此同时，由于电子工业洁净厂房中各种公用动力设施和管线，产品生产工艺所需管线、净化空调系统风管和末端装置、电气照明设施等种类繁多，在进行洁净室的空间布置时应充分兼顾以上各项内容，并做妥善安排。根据已有或正在建设中的电子工业洁净厂房的空间布置状况表明：单层垂直单向流洁净室的上技术夹层的空间尺寸一般为2.0-2.5m；当采用活动地板时，下技术夹层为1.0-1.5m，有的面积较小的洁净室只有0.6-0.8m。所谓多层垂直单向流洁净室，上技术夹层空间尺寸室根据其使用功能和建筑结构确定，如在此空间安装循环风处理装置以及风管及过滤器或ffu的外形尺寸等确定，一般上技术夹层空间尺寸3.0m左右，有的可达4.0m；下技术夹层一般不仅是净化空调系统的回风静压箱，常常还设置有公用动力设施、生产辅助设施等，为了运行管理方便和必须的安全保护距离，一般下技术夹层空间尺寸为4.0m。
洁净室空间布置和综合协调，非单向流洁净室只设有上技术夹层或技术夹道，目前各种用途的非单向流洁净室的上技术夹层的空间尺寸一般为1.5-2.0m。视具体工程项目安排的使用功能和布置在此空间的公用动力设施、管线的和外形尺寸确定。
